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在Ar+O_2混合气氛中射频反应性溅射Cd-Sn合金靶制备了透明导电Cd_2SnO_4(简称CTO)膜。实验表明,该膜的电学和光学性质依赖于混合气体中的氧浓度和衬底温度,最低电阻率为2.89×10~(-6)Ω·m,可见光区域最高透光率为95％。用X射线衍射测量了不同衬底温度下薄膜的结构。
射频反应性溅射Cd—Sn合金靶沉积透明导电...
【摘 要】
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在Ar+O_2混合气氛中射频反应性溅射Cd-Sn合金靶制备了透明导电Cd_2SnO_4(简称CTO)膜。实验表明,该膜的电学和光学性质依赖于混合气体中的氧浓度和衬底温度,最低电阻率为2.89&
【机 构】
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兰州大学物理系,兰州大学物理系兰州730000,兰州730000,兰州730000
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1992年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助
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