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蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响
蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuweijie2009
【摘 要】
:
用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明,在沉积真空2Pa下,蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化;在沉积
【作 者】
:
鲜晓斌
吕学超
伏晓国
任大鹏
【机 构】
:
中国工程物理研究院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2001年7期
【关键词】
:
铀薄膜
组成
结构
制备
真空蒸发沉积
磁控溅射沉积
vacuum of deposition
uranium films
composition
str
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用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明,在沉积真空2Pa下,蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化;在沉积真空2×10-1Pa下,磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成,薄膜呈微晶或无定形结构。
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