蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响

来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuweijie2009
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用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明,在沉积真空2Pa下,蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化;在沉积真空2×10-1Pa下,磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成,薄膜呈微晶或无定形结构。
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