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讨论了类金刚石膜的特性及应用,介绍了激光镀膜系统的结构原理.探讨了激光镀类金刚石膜的特点及金刚石膜生成工艺中的关键问题及解决途径.
激光技术的一种特殊应用——镀类金刚石膜的探讨
【摘 要】
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讨论了类金刚石膜的特性及应用,介绍了激光镀膜系统的结构原理.探讨了激光镀类金刚石膜的特点及金刚石膜生成工艺中的关键问题及解决途径.
【机 构】
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深圳大学师范学院物理系,深圳大学工程技术学院
【出 处】
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物理通报
【发表日期】
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2005年10期
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