电子级高纯超细氧化锆粉工艺研究

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介绍了以工业ZrOCl2·8H2O为原料,经过水解、煅烧、粉碎制取电子级高纯超细氧化锆粉的工艺流程、技术条件及试验结果。制取的氧化锆纯度达到99.9%,粒度变化范围小,平均粒径小于0.5μm,比表面积19.4m2/g。
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