【摘 要】
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为了解决大多数高校微电子专业实验教学面临的难题,建设了MOS场效应晶体管虚拟仿真实验教学资源.引入半导体器件的虚拟制造和虚拟测试理念,基于半导体工艺仿真软件和器件模拟
【机 构】
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南京邮电大学信息电子技术国家级虚拟仿真实验教学中心,南京邮电大学电子科学与技术国家级实验教学中心
【基金项目】
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江苏省在线开放虚拟仿真实验教学项目(No.SYS2017SXF03),电子科学与技术国家级实验教学示范中心项目(虚拟201802,综合201806)
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为了解决大多数高校微电子专业实验教学面临的难题,建设了MOS场效应晶体管虚拟仿真实验教学资源.引入半导体器件的虚拟制造和虚拟测试理念,基于半导体工艺仿真软件和器件模拟软件进行二次开发,包含教学管理、虚拟制造和虚拟测试3大部分,共17个模块,实现了MOS场效应晶体管的各种制造工艺流程和直流、交流、瞬态等各种性能测试.虚拟仿真实验教学资源知识点覆盖面广,理念先进,辐射范围广,具有较好的学习效果,为微电子专业人才培养提供了优质的实验教学资源.
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