【摘 要】
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通过对射频(RF)放电电压电流以及其相位角的精确测定,结合射频放电的物理模型与等效电路,对金属铜和金电极He气中的射频放电进行实验研究,得出射频放电溅射型铜和金离子等离
【机 构】
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深圳大学理学院,中国科学院等离子体物理研究所,德国鲁尔大学电子工程与信息技术系
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通过对射频(RF)放电电压电流以及其相位角的精确测定,结合射频放电的物理模型与等效电路,对金属铜和金电极He气中的射频放电进行实验研究,得出射频放电溅射型铜和金离子等离子体电阻、容抗、鞘层厚度与电流密度的关系;在Goydak模型的基础上计算出电子密度,得出电子密度与气体压强、放电电流密度之间的实验曲线,并对两电极进行了比较.
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