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化学修饰的Sol-Gel法因无需光刻胶、腐蚀液被用于YBCO薄膜图形的制备。以丙烯酸（AA）、苯酰丙酮（BzAcH）作为化学修饰剂制备YBCO薄膜图形，研究了化学修饰剂、光源、前烘温度和时间、溶洗剂对薄膜图形的最小线宽和质量的影响。
化学修饰的溶胶-凝胶（Sol-Gel）法制备YBCO薄膜图形的研究
【摘 要】
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化学修饰的Sol-Gel法因无需光刻胶、腐蚀液被用于YBCO薄膜图形的制备。以丙烯酸（AA）、苯酰丙酮（BzAcH）作为化学修饰剂制备YBCO薄膜图形，研究了化学修饰剂、光源、前烘温度和时间、
【机 构】
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西安邮电大学理学院
【出 处】
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低温与超导
【发表日期】
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2014年1期
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