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采用室温磁控溅射技术在Ti6A14V表面制备出高硬SiC薄膜，对其组织结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能进行了研究。结果表明：实验制备的SiC薄膜呈非晶态，其纳米硬度、弹性模量分别为26．8GPa和229．4GPa；在以氮化硅球（半径为2mm）为对摩件的室温Kokubo人体模拟体液下，其磨损速率在10-5mm3m-1N-1级，载荷低（50g）时摩擦因数约为0．173，载荷高（200g）时摩擦因数约为0．280，此时薄膜自身发生局部破裂。