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综述了三分量光纤加速度传感器探头研究的工作进展,介绍了三分量光纤加速度传感器的设计思路,重点阐述了不同原理和结构的探头设计方案,并对其中的关键技术参数进行了评价,最后对三分量光纤加速度传感器的发展进行了总结和展望。
三分量光纤加速度传感器探头设计进展
【摘 要】
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综述了三分量光纤加速度传感器探头研究的工作进展,介绍了三分量光纤加速度传感器的设计思路,重点阐述了不同原理和结构的探头设计方案,并对其中的关键技术参数进行了评价,最
【机 构】
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内蒙古工业大学化工学院,中国科学院半导体研究所光电系统实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2012年08期
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