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含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和蚀刻剂。综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考。
含氟电子气体研究进展
【摘 要】
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含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和蚀刻剂。综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考。
【机 构】
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浙江省化工研究院有限公司,大庆油田采油工程研究院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2013年01期
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