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毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢
毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢
来源 :理化检验(化学分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:caorongbb
【摘 要】
:
多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体,若其中氯化氢含量高,则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象,后期可能出现磷超标现象,严重影响多晶硅的质量。因此需对
【作 者】
:
于晓艳
杨红燕
卢菊花
赵建为
李剑南
王桃萍
任国扬
【机 构】
:
昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
:
理化检验(化学分册)
【发表日期】
:
2016年1期
【关键词】
:
毛细管柱气相色谱法
回收氢气
氯化氢
测定
生产过程
多晶硅
超标现象
还原剂
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多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体,若其中氯化氢含量高,则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象,后期可能出现磷超标现象,严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。
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