【摘 要】
：
尝试用Ansys有限元软件对电镀过程中电力线分布进行模拟分析.并采用一些辅助措施改进电镀模型,力求使电镀层厚度的均匀性有所提高。模拟分析发现:在阴阳极之间加上一块中间带
【机 构】
：
上海交通大学微电子学院,上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点试验室微米／纳米加工技术国家级重点试验室
【基金项目】
：
国家高科技研究发展计划(863)资助项目(2006AA42326);微米/纳米加工国家级重点试验室资助项目(9140C7903010607);上海交通大学PRP项目(T34012008)
论文部分内容阅读
尝试用Ansys有限元软件对电镀过程中电力线分布进行模拟分析.并采用一些辅助措施改进电镀模型,力求使电镀层厚度的均匀性有所提高。模拟分析发现:在阴阳极之间加上一块中间带孔的挡板,可以改善镀层的均匀性。当辅助挡板的孔径为5 cm、且离开阴极5.25 cm时,电镀层厚度的相对误差由无挡板时的41.8%降为24.3%。通过电镀试验验证模拟分析,结果两者显示出较好的一致性。
其他文献
<正>闻名全国的文明城市张家港,也是全国最早提出建设法治城市的地方之一。多年来,在建设全国文明城市的同时,张家港市扎实推进依法治市工作,积极进行法治城市建设的实践和探
<正>2012年底,又一食品安全问题令消费者瞠目,国家质检总局通报,经湖南省产商品质量监督检验院对50度酒鬼酒样品检测,DBP(邻苯二甲酸酯类物质,俗称塑化剂)最高检出值为1.04mg
<正>奢侈品生产地的历史和文化往往赋予奢侈品更多的涵义,中国的土壤同样能生长出顶级的国际知名的奢侈品品牌随着2006年中国时装周十年盛典的隆重开幕,一场以“凤”为主题的
江苏省仪征市发展茶叶有近50年的历史，因其土壤条件特殊、区位环境优异，适宜茶叶生长的面积有44万亩。当地政府虽然一直把发展茶叶作为调整农业结构的一项重要举措，但至今仪征茶
人口是一个动态系统。人口变化对未来经济、社会的发展有着直接的影响。人口年龄结构是人口研究的重要指标之一,人口年龄结构发展趋势的预报对人口政策的制定有着非常重要的
以单链条的信息内容服务产业链为研究对象,从链内主体的角度探讨了信息内容服务产业链利益协调的基本原则,并从三个方面分析了信息内容服务产业链实现利益协调的途径:即链内
在光纤通信系统中光接收机是整个系统的主要器件，而且在现实的生活中，光接收机的应用范围很广例如用在光纤通信、光盘系统、光电检测系统等领域。大多数的光接收设备都是从国外
本文以聚氨酯-丙烯酸酯复合乳液为基料,研究水性木器涂料配方。对产品的制造工艺、配方因素及涂装工艺进行了研究与讨论,制备出的水性清漆及色漆,经检测,各主要性能已达到或
战后,日本女权运动虽然兴起的较迟,但由于日本妇女在社会经济和教育等领域状况的改善比较突出,她们在政治上的进步是相当明显的。尽管如此,她们取得的成绩与其他发达国家相比
<正>昆山市地处长江下游的苏南地区,素有"鱼米之乡"之称,水稻生产历来以单季晚粳为主。2008年本市引进了优质高产晚粳新品种南粳46,多年的试验与示范表明,该品种产量水平高、