国外光学零件表面正确性检验技术发展概况

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光学零件表面正确性检验,在光学车间是一项大量的经常性的工作。所谓表面正确性,指被加工的光学零件表面与理论上所要求的表面形状的偏差量,通常也叫做光学零件表面面形误差。一、平面和球面的检验六十年代以前,国外主要使用玻璃样板来检验光学零件表面正确性。这种方法适用于检验光学系统的大多数小型光学零件。除此以外,也有用付科刀口仪来检验凹面反射镜等光学零件的。用玻璃样板法检验光学零件表面正确性的缺点很多,例如:检验精度较低;检验精度受玻璃样板制造精度限制;检验球面时需一种曲率一个样板;被检表面尺寸不能超过玻 Optical parts surface accuracy test, in the optical workshop is a lot of regular work. The so-called surface accuracy, refers to the surface of the optical parts to be processed and the theoretical requirements of the surface shape of the deviation, also known as optical surface error. First, the plane and the spherical test Sixties ago, the main use of foreign glass samples to verify the correctness of the optical surface. This method is suitable for inspection of most optical components of small optical components. In addition, it is also useful to pay the knife section instrument to check the concave mirror and other optical components. There are many shortcomings in using the glass sample method to test the correctness of the surface of an optical component, for example, the test precision is low; the test precision is limited by the precision of the glass sample; a sample with a curvature is required when testing the spherical surface;
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