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阳极预电离改善准分子激光器放电均匀性
阳极预电离改善准分子激光器放电均匀性
来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stayrose
【摘 要】
:
提出了准分子激光器阳极预电离方案,并在实验上证实了阳极预电离能有效地改善放电均匀性,同时使激光输出能量略有提高。
【作 者】
:
熊旭明
秦玉英
【出 处】
:
中国激光
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
准分子激光器
预电离
放电
均匀性
excimer laser
preionization
homgenity of discharge
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提出了准分子激光器阳极预电离方案,并在实验上证实了阳极预电离能有效地改善放电均匀性,同时使激光输出能量略有提高。
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