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期刊论文
LIGA技术制作微反应器的研究
LIGA技术制作微反应器的研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:smashnj
【摘 要】
:
介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器.
【作 者】
:
刘刚
田扬超
张新夷
【机 构】
:
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
LIGA技术
微反应器
微管道
微电子机械系统
s:microreactor
microchannels
LIGA technique
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介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器.
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