LIGA技术相关论文
微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要......
介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中 ,X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成 ,微齿轮图......
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用......
在我国制造行业飞速发展的过程中，微机械制造工艺已经在各个行业领域之中得到了广泛的应用，而这一制造体系本身也是目前人类社会极为......
简要描述了新开发的准分子激光微加工装备的结构特点 .系统地研究了准分子激光直刻高分子聚合物的机制及其与微结构制作精度的关系......
简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明......
重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展......
报道了一种采用电镀方法制作活动微结构的牺牲层工艺 ,该牺牲层技术可用于微电子机械装置中活动部件的制作。利用电镀形成Zn牺牲层......
简要介绍了ＬＩＧＡ工艺过程，特点和应用实例。...
介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合,制造可动微结构的工艺方法.并给出了可实现摆动、转动的可动微结构--微执行器、微传感器......
LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢......
<正> 随着众多消费产品向“轻、薄、短、小”方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的......
介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀......
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车......
介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成......
合成了用于LIGA微细加工技术的聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀剂,采用同步辐射装置X射线深度曝光,可得到深宽比45～90,深度大于450微米,细线宽......
提出了基于电子束的LIGA(Líthographíe,Galvanoformung,Abformung)技术新概念.根据Grune公式就电子束能量对抗蚀剂刻蚀......
纳米是长度的计量单位,为1mm的百万分之一.纳米技术是一门在0.1nm～100nm空间尺度内操纵原子和分子,对材料进行加工,制造出具有特定......
LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史，已在世界各地发展起来，带动和激发了微机电系统——MEMS（Microelectromechanical S......
LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参......
介绍了将LIGA技术与微细电火花加工技术相结合来实现复杂形状微细结构的加工；初步探讨了复杂形状微细结构的加工工艺，获得了优化参数......
微电铸工艺兼具掩膜电镀和厚膜结构电铸的双重特征.采用线性电位扫描和电化学交流阻抗等电化学测量技术,对高深宽比掩膜条件下微电......
微/纳制造领域已经成为衡量一个国家科技水平的重要标志之一,微/纳结构加工技术的发展和应用将给先进制造技术和超精密加工领域带......
介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状.给出LIGA技术在微驱动器中的应用.......
LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质......
组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点。为实现优异的聚焦性......
ＬＩＧＡ技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对ＬＩＧＡ技术所存在的缺点，提出了一种利用多层光刻胶工艺的准ＬＩＧＡ技术。利用此技术，可以用普通......
现代战争的需求对武器系统的灵巧性、快速性、精确性提出了更高的要求,处于毁伤与反毁伤最前端的引信技术的突破是武器系统性能提......
微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)的研究是进入21世纪以来极具活力的研究热点之一。其中,微纳米量级的......
随着微机电系统不断地朝着小型化和系统功能集成化方向发展,微驱动技术获得了巨大的关注和发展,相继涌现了静电、电磁、压电、电热......
通过在北京高能所 3W 1束线上进行的X光深层光刻工艺研究 ,获得了侧壁光滑、陡直 ,厚度达 1 0 0 μm ,深宽比达 2 0的光刻胶和金属......
介绍了微型制件及微型模具成形特点 ,全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况 ,同时分析了各种微细......
微系统技术基于微机械加工技术以及集成电路工艺方法,具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可大批量生产等优点。概述了......
微电铸是相对于常规电铸工艺而确立的新概念,它是适用于微小结构成型而建立的批量加工技术,既可以看作是在微细加工模具基础上的传......
阐述了ＬＩＧＡ技术的组成及特点，对ＬＩＧＡ工艺掩膜、Ｘ射线光刻电铸及塑铸等进行了工艺原理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基，以Ａｕ为吸收体的......
基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS......
介绍微机械制造技术的特点及目前微机械加工的主要技术,阐述了微机械制造出现的新技术及其发展趋势,并对微机械加工中的关键技术进......
本文着眼于LIGA技术高深宽比方面的研究，以提高本实验室用LIGA技术制作微细结构的深宽比为目的，从分析各因素影响深宽比的机理出发，再......
近几年来微型机电系统 (MEMS)的研究得到了高速的发展 ,而MEMS的工艺基础是微细加工技术。针对电铸 (LIGA)技术所存在的缺点提出了......
微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发......
为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能，利用LIGA(Iihographie，Galvanofomiung，Abfomiung)技术，制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲醋（PMMA)......
利用LIGA技术的优势，针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺，完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金......
