薄膜与基体间的附着力测试

来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lkzhlk
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
薄膜是一种特殊形态的材料,在微电子等领域得到了广泛的应用。薄膜与基体间的附着性能在很大程度上决定了薄膜应用的可能性和可靠性,但是,迄今为止对薄膜与基体间界面的了解还不够深入,也没有一种通用的测量技术。阐述了薄膜与基体间的附着机理和增加附着力的途径,介绍了胶粘法、划痕法等各种比较常用的附着力测试方法。
其他文献
由于功率计只能测试功率较大的微波信号,频谱仪测试脉冲信号存在失真现象,因此低功率超宽带线性调频脉冲信号功率测试在实际工程中是一个待解决的问题。在分析频谱仪功率测试
目前电网系统中完成一台校验仪的检定完全依赖手动操作,检定工作任务繁重且基于当前检定技术的最终检定精度不高。本文以互感器校验仪检定工作的去人工化,数字化以及提高检定
<正>"关口前移"是我国脑梗死防控策略之一,基于体质进行脑梗死防控可以实现早预防、早治疗的目标。体质受先天和后天多种因素影响,这些因素交互作用于个体。因此,体质类型在
尽管国家一直提倡和鼓励药物创新,但我国的新药研制还是未见太大起色,症结何在?对新《药品注册管理办法》反复深入解读的目的不仅是让药企看见政府部门鼓励创新和严格审批的
<正>近年来我国养鸡业发展形势和养殖规模不断壮大,实现集约化养鸡模式,对满足人民的食用需求和养殖户的经济需求都有着重要意义。养殖户在养殖过程中诸多不稳定因素影响,其
近年来,以网络为主要载体的新媒体技术蓬勃发展,在它多维全面、便捷快速、大众宣传等诸多优势广泛应用到当今生活的同时,其带来的负面效应也不容忽视,而作为新媒体的主要受众
植物内生真菌(Endophytic fungi)是指在某一时期生活在之物体内,但对寄主植物组织并不引起明显病害症状的真菌。由于长期生长在植物内部,往往能产生许多具有与共生植物相似的活
<正>《尤利西斯》之所以被称为现代人漂泊历险的精神"史诗",是因为乔伊斯在小说中发挥自己超常的创造力和想象力,不再注重叙述的有序性、因果性和逻辑性,而是运用蒙太奇手法
目的:探讨鸦胆子油乳对预防鼻咽癌急性放射性口咽粘膜炎的疗效。方法:选择首次行鼻咽癌根治性放射治疗的病例73例,随机分为鸦胆子油乳治疗组和标准对照组。鸦胆子油乳治疗组,鸦胆
本文的研究结合了现代空间对地观测技术特别是差分合成孔径雷达干涉测量技术(Differential Interferometry Synthetic Aperture Radar, D-InSAR)、数值模拟、有限元算法及远