【摘 要】
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以氧化石墨烯溶胶为前体,通过旋涂工艺制备薄膜型气敏元件,在低温80~180℃下进行热处理,获得系列不同还原程度的还原氧化石墨烯气敏元件,采用XRD、AFM、FT-IR、XPS对样品的层
【机 构】
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西南科技大学理学院,西南科技大学固体废物处理与资源化教育部重点实验室,西南科技大学矿物材料及应用研究所,中国工程物理研究院机械制造工业研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(U1630132,41772036);四川省科技厅项目(2016GZ0428,2017GZ0114);西南科技大学研究生创新基金(17ycx072)
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以氧化石墨烯溶胶为前体,通过旋涂工艺制备薄膜型气敏元件,在低温80~180℃下进行热处理,获得系列不同还原程度的还原氧化石墨烯气敏元件,采用XRD、AFM、FT-IR、XPS对样品的层结构、薄膜厚度及含氧官能团变化属性进行表征,将气敏薄膜元件在相对湿度为11.3%~93.6%的范围内进行预湿处理,并测定元件对甲醛气氛的敏感性能。结果表明:随热还原处理温度的升高,氧化石墨烯的结构逐渐向类石墨结构转变,含氧官能团逐渐脱失,缺陷增多,薄膜的方块电阻呈数量级地减小,从41MΩ减小至928Ω;经不同湿度预处理的气敏
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