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成功展示了一种像元间距23．5μm的非制冷红外（IR）焦平面（FPA），在热相法、安全摄像机等领域有广泛的商业应用。非制冷IRFPA的一个关键议题是减小像元间距，因为像元间距的大小决定了FPA的总体尺寸，最终也就确定了红外摄像产品的成本。本文提出了一种新的像元结构，光阑和悬梁放置在不同层上，实现了一种像元间距更小（≤17μm）的非制冷红外焦平面。上层包括了带有VOx测辐射热计和红外吸收层的光阑。下层包括两个悬梁，设计为放在相邻像元上。12μm、15μm、17μm间距这种像元结构测试器件已经制作于si读出集