【摘 要】
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采用磁控溅射预制In薄膜和硫化热处理工艺制备了性能优良的β一In2S3薄膜,应用XRD、拉曼光谱仪及UV一Vis测试对薄膜的品质进行了分析,并测试了薄膜的光学与电学性能, 结果表
【机 构】
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盐城工学院省新型环保重点实验室,河南理工大学
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（No.21276220）,国家科技支撑计划项目（No.2013BAC13B00）,盐城工学院人才工程项目（No.KJC2013007）
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采用磁控溅射预制In薄膜和硫化热处理工艺制备了性能优良的β一In2S3薄膜,应用XRD、拉曼光谱仪及UV一Vis测试对薄膜的品质进行了分析,并测试了薄膜的光学与电学性能, 结果表明,溅射功率对薄膜的结晶性能影响较大,比较合适的溅射功率为100W和140W.此外,硫化热处理温度对薄膜的品质影响也很大,比较合适的热处理温度范围为450.相比之下,溅射气体压强对薄膜品质的影响小一些,溅射气体压强可选择在04一0.6Pa.光学与电学性能测试结果指出,得到的β一In2S3薄膜品质较好,光谱透过率高,属n型半导体,可
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