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对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算，结果表明，在样品平面沿Ｘ，Ｙ方向均辐照度（温度）区的线性尺寸比高温梯度区的尺寸快速增大，沿Ｚ方向均匀辐照度（温度）区的深度随样品到加热丝距离的增加而增大，辐照度（温度）的大小可通过改变加热丝间距得到控制。
热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应
【摘 要】
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对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算，结果表明，在样品平面沿Ｘ，Ｙ方向均辐照度（温度）区的线性尺寸比高温梯度区的尺寸快速增大，沿Ｚ方向均匀辐照度（温度）区的深度随
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1996年3期
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