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为了解决工件表面微米级针孔缺陷特征不明显而导致其难以检出的问题,提出了基于显微成像与图像处理的针孔漏光缺陷检测系统。首先,对针孔缺陷检测精度、视野覆盖范围进行分析,完成视觉系统设计,达到对缺陷清晰成像的目的。然后利用Canny分割与膨胀处理图像缺陷目标,遍历轮廓提取面积、长轴特征,通过加入缺陷坐标系模型,完成缺陷定性判断。实验测试结果显示:与当前缺陷检测技术相比,文中算法拥有更高的缺陷检出率。