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论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制。
高速粘片机晶片工作台的电机选型计算与运动控制
【摘 要】
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论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制。
【机 构】
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中国电子科技集团第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年01期
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