X-Ray Photoelectron Spectroscopy and Raman Spectroscopy Studies on Thin Carbon Nitride Films Deposit

来源 :纳米科学与工程(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：JACK910680

【摘要】

：

Thin carbon nitride (CNx) films were synthesized on silicon substrates by reactive RF magnetron sputtering of a graphite target in mixed N2/Ar discharges and th

【作者】

：

Masao Matsuoka Sadao Isotani R

【机构】

：

InstituteofPhysics,MEMSDevelopmentDepartment,NissinElectricCompany,PolytechnicalSchool

【出处】

：

纳米科学与工程(英文)

【发表日期】

：

2012年2期

【关键词】

：

Carbon NITRIDE MAGNETRON SPUTTERING X-Ray PHOTOELECTRON Raman Scattering Carbon

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Thin carbon nitride (CNx) films were synthesized on silicon substrates by reactive RF magnetron sputtering of a graphite target in mixed N2/Ar discharges and the N2 gas fraction in the discharge gas, F N, varied from 0.5 to 1.0. The atomic bonding configu

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