【摘 要】
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本文采用激光诱导大分子有机硅熔(HMDS)气相反应,通过加入附加反应气和工艺参数的优化控制,在不同合成条件下制得单相非晶Si3N4,β—SiC纳米粉和宽组份变化范围的SiNXCY纳米复合粉(平均粒径:10-30nm)。与通常采
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本文采用激光诱导大分子有机硅熔(HMDS)气相反应,通过加入附加反应气和工艺参数的优化控制,在不同合成条件下制得单相非晶Si3N4,β—SiC纳米粉和宽组份变化范围的SiNXCY纳米复合粉(平均粒径:10-30nm)。与通常采用的硅烷相比,采用此有机硅烷激光合成在等同实验条件下粉产率可提高3-5倍.成本降低1倍,且具有粉体组成,结构易于控制等优点,是一种具有商业化应用前景的高性能硅基纳米陶瓷粉制备技术。
In this paper, laser-induced gas-phase reaction of macromolecule organic silicon melt (HMDS) was used to prepare single-phase amorphous Si3N4 and β-SiC nanopowders with wide composition changes by adding additional reactant gas and optimizing process parameters. Range of SiNXCY nano-composite powder (average particle size: 10-30nm). Compared with the commonly used silane, using this organosilane laser synthesis under the same experimental conditions, the yield can be increased 3-5 times. The cost is reduced by 1 time, and has the advantages of powder composition and easy control of structure, and is a preparation technology of high-performance silicon-based nano ceramic powder with commercial application prospect.
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