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本文基于MEMS技术设计制作了硅微结构的条栅状过滤器,用于分离的研究,给出了具体的制作工艺,并用碳化硒微粒做了原理实验以检验其过滤性能.此结构过滤器及工艺方法可为同行参考,并为进一步微流体分离研究提供实验依据.
基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
【摘 要】
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本文基于MEMS技术设计制作了硅微结构的条栅状过滤器,用于分离的研究,给出了具体的制作工艺,并用碳化硒微粒做了原理实验以检验其过滤性能.此结构过滤器及工艺方法可为同行参
【机 构】
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中固科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039中固科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,1300
【出 处】
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第三届全国微全分析系统学术会议
【发表日期】
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2005年10期
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