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通过直接的数值模似,分析了束在激光驻波场下传播的动力学行为,估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等.
一维原子刻蚀的数值模拟
【摘 要】
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通过直接的数值模似,分析了束在激光驻波场下传播的动力学行为,估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激
【机 构】
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中科院武汉物理与数学研究所
【出 处】
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计算物理
【发表日期】
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2004年3期
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