【摘 要】
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全方位注入沉积复合镀膜技术是一种新颖的材料加工的新技术。它针对现有薄膜制备技术的不足,提供了一种薄膜复合制备方法与装置,它利用磁控溅射、真空阴极弧光蒸发等方法,为
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全方位注入沉积复合镀膜技术是一种新颖的材料加工的新技术。它针对现有薄膜制备技术的不足,提供了一种薄膜复合制备方法与装置,它利用磁控溅射、真空阴极弧光蒸发等方法,为全方位注入沉积复合镀膜表面改性提供了所需的离子体,从而解决了采用永久磁条切磁壁的方式约束等离子体造成真空腔体造价昂贵的缺点,降低了生产成本,简化了磁结构.
All-directional deposition of composite coating deposition technology is a novel material processing technology. In view of the deficiency of the existing thin film preparation technology, the invention provides a thin film composite preparation method and device which utilizes the methods of magnetron sputtering and vacuum cathodic arc evaporation to provide the required surface modification for the full-scale deposition of the deposited composite coating Ion, thus solving the use of permanent magnetic stripe cutting wall way to confine the vacuum plasma chamber caused by the cost of expensive shortcomings, reducing production costs and simplify the magnetic structure.
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