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采用微波等离子增强化学气相沉积法在（１００）镜面抛光的硅片衬底上实现了金刚石薄片〖１００〗定向强构生长。并用扫描电子显微镜、拉曼散射和傅立叶红外光谱仪分析测试了不同工艺得到的金刚石薄片的表面形貌、组成织构和红外性能。结果表明：负偏压辅助定向成核和氢的等离子刻蚀不仅促进了金刚石薄膜的定向织构生长，而且有刻蚀成核期的非金刚石成分。从而提高了金刚石薄片的红外光透过特性。