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期刊论文
梯形误差校正的算法研究
梯形误差校正的算法研究
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:macguys
【摘 要】
:
介绍了梯形误差的产生,以及梯形误差的检测方法,根据物镜放大倍率变化与物距的函数关系,推导出梯形误差校正机构的运动距离,并进行了模块数据的验证。
【作 者】
:
郭黎
江天水
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
梯形误差
误差修正
放大率
光刻机
Trapezoid errors
Error correction
Magnification
Photolithograp
【基金项目】
:
国家“八·五”科技攻关项目
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介绍了梯形误差的产生,以及梯形误差的检测方法,根据物镜放大倍率变化与物距的函数关系,推导出梯形误差校正机构的运动距离,并进行了模块数据的验证。
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