【摘 要】
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在半导体和液晶面板生产过程中为降低生产成本,提高产品可靠性,在铜制程的电镀液和蚀刻液中添加有机螯合剂逐渐成为一种趋势.由于螯合剂与Cu2+会形成环状化合物其结构非常稳定,传统除铜工艺难以将废液和废水中的Cu去除,使制造生产工艺的改良遇到许多障碍.如何处理含有螯合剂的Cu废液和废水一直以来缺少系统性研究.该文对多种处理工艺路线进行对比,提出一套低成本、高效率的以FeSO4为破络剂的废水处理工艺,以期对半导体和液晶面板行业的工艺改善提供帮助.
【机 构】
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南京京东方显示技术有限公司,江苏 南京 210046;成都中电熊猫显示科技有限公司,四川 成都 610207
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在半导体和液晶面板生产过程中为降低生产成本,提高产品可靠性,在铜制程的电镀液和蚀刻液中添加有机螯合剂逐渐成为一种趋势.由于螯合剂与Cu2+会形成环状化合物其结构非常稳定,传统除铜工艺难以将废液和废水中的Cu去除,使制造生产工艺的改良遇到许多障碍.如何处理含有螯合剂的Cu废液和废水一直以来缺少系统性研究.该文对多种处理工艺路线进行对比,提出一套低成本、高效率的以FeSO4为破络剂的废水处理工艺,以期对半导体和液晶面板行业的工艺改善提供帮助.
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