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多晶硅质量受多方面因素影响,本文结合生产实际,分别从提高原料纯度,加强分析手段、控制生产过程中的温度、合理选择混合气配比、保持设备洁净、强化精馏效果、提高质检工作人员业务素质和质量意识等方面进行了分析,以逐步提高多晶硅质量.
多晶硅中碳杂质的来源及控制方法探讨
【摘 要】
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多晶硅质量受多方面因素影响,本文结合生产实际,分别从提高原料纯度,加强分析手段、控制生产过程中的温度、合理选择混合气配比、保持设备洁净、强化精馏效果、提高质检工作
【机 构】
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江苏康博新材料科技有限公司 江苏扬州 225600
【出 处】
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商品与质量
【发表日期】
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2018年34期
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