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对当前薄膜场效应晶体管生产洁净厂房常用的典型设计特点进行介绍分析，对空气净化系统可行的几种设计方案进行发析和比较。
TFT洁净厂房设计优化
【摘 要】
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对当前薄膜场效应晶体管生产洁净厂房常用的典型设计特点进行介绍分析，对空气净化系统可行的几种设计方案进行发析和比较。
【机 构】
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中国电子工程设计院
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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1999年3期
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