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本文论述了一种新型基于垂直干涉的位移传感器 ,该装置在麦克尔逊干涉仪的基础上 ,采用了一个臂 ,参考光与信号光共用一条光纤路径 ,气隙距离为待测距离。系统抗干扰能力很强 ,结构简单。分辨率为 5 nm。
一种新型精密光纤位移传感器
【摘 要】
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本文论述了一种新型基于垂直干涉的位移传感器 ,该装置在麦克尔逊干涉仪的基础上 ,采用了一个臂 ,参考光与信号光共用一条光纤路径 ,气隙距离为待测距离。系统抗干扰能力很强
【机 构】
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燕山大学
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2002年04期
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