【摘 要】
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采用层状介质中波的传播分析法对一种在ST-90°X切割的石英基底上覆盖重金属膜激发的一种新型纯剪切(sH)波的传播特性进行了分析,并得到了传播速度、机电耦合系数与金属
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采用层状介质中波的传播分析法对一种在ST-90°X切割的石英基底上覆盖重金属膜激发的一种新型纯剪切(sH)波的传播特性进行了分析,并得到了传播速度、机电耦合系数与金属膜厚和传播方向的关系以及位移分量分布曲线.这种波只有纯剪切运动,位移分量只有剪切分量,具有较大的机电耦合系数和反射系数,而且具有良好的频率温度特性,因此对于实现声表面波器件的小型化有着很大的使用价值,另外这种模式波对于液体传感器的研究应用也相当有意义.
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