【摘 要】
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设计合成了一种共价键合光致产酸剂（PAG）的单分子树脂（molecular glass）材料HPS-MSF,该材料具有良好的热稳定性和成膜性。以该单分子树脂为主体材料，四甲氧基甲基甘脲（TMMGU）为交联剂进行配方，制备得到负型单分子树脂光刻胶。通过254 nm紫外曝光初步研究了光刻胶的配方、后烘及显影条件。进一步利用电子束光刻对该负型光刻胶进行评价，当TMMGU添加量为15%或30%时，在曝光剂
【机 构】
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中国科学院理化技术研究所光化学转换与功能材料重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（22090012）； 国家科技重大专项（2018ZX02102-005）资助；
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设计合成了一种共价键合光致产酸剂（PAG）的单分子树脂（molecular glass）材料HPS-MSF,该材料具有良好的热稳定性和成膜性。以该单分子树脂为主体材料，四甲氧基甲基甘脲（TMMGU）为交联剂进行配方，制备得到负型单分子树脂光刻胶。通过254 nm紫外曝光初步研究了光刻胶的配方、后烘及显影条件。进一步利用电子束光刻对该负型光刻胶进行评价，当TMMGU添加量为15%或30%时，在曝光剂量分别为140μC/cm2和110μC/cm2时，均可以得到线宽为150 nm,周期300 nm的光刻条纹。
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