【摘 要】
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关于长波长探测器已有很多报导。文本将介绍我们研制成功的一种理想的长波长In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP探测器。它不仅具有性能好,而且具有工艺简单、重复性好、成品率高等特
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关于长波长探测器已有很多报导。文本将介绍我们研制成功的一种理想的长波长In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP探测器。它不仅具有性能好,而且具有工艺简单、重复性好、成品率高等特点。
There have been many reports on long wavelength detectors. The text will introduce an ideal long wavelength In_ (0.53) Ga_ (0.47) As / InP detector that we have successfully developed. It not only has good performance, but also has a simple process, good repeatability, high yield characteristics.
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