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针对波导沟道制作的蚀刻工艺，讨论利用反应离子束蚀刻技术制备波导沟道的工艺条件对面形的影响，对严重影响面型的草地现象形成原因和工艺改善进行实验实践，包括光刻胶、温度效应、二次效应等因素，并提出进行光学稳定、调节离子入射角和改变刻蚀气体压强等减小草地现象的措施，对蚀刻低损耗波导进行有益的探索。
反应离子束蚀刻中的草地现象及其改善
【摘 要】
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针对波导沟道制作的蚀刻工艺，讨论利用反应离子束蚀刻技术制备波导沟道的工艺条件对面形的影响，对严重影响面型的草地现象形成原因和工艺改善进行实验实践，包括光刻胶、温度效应
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,63891部队
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2008年5期
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