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本文利用热丝辅助射频等离子体CVD法在渗硼铁样品上成功地生长了c—BN薄膜。薄膜的维氏硬度高达4500Kg/mm~2,c—BN膜与Fe衬底的附着力也令人满意。本文还给出了x射线衍射及红外吸收谱测试结果。
渗硼铁衬底上利用热丝辅助r.f等离子体CVD法生长C-BN薄膜
【摘 要】
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本文利用热丝辅助射频等离子体CVD法在渗硼铁样品上成功地生长了c—BN薄膜。薄膜的维氏硬度高达4500Kg/mm~2,c—BN膜与Fe衬底的附着力也令人满意。本文还给出了x射线衍射及红
【机 构】
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兰州大学物理系,中科院兰州化学物理研究所,中科院兰州化学物理研究所兰州730000,兰州730000,兰州730000
【出 处】
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甘肃科学学报
【发表日期】
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1993年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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