性能可与国际一流设备媲美 售价仅为进口设备的一半
　　
　　不久，一种更“给力”并实惠的能源将走入寻常百姓家。今天，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD）在位于上海张江的理想能源设备公司正式下线。这台设备的研制成功和下线，大幅降低硅薄膜电池生产成本，打破了高端薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面，填补了光伏电池高端设备国产化的空白。中共中央政治局委员、上海市委书记俞正声致信祝贺。
　　据介绍，一片约1.5平方米的普通平板玻璃完成导电层覆膜后，进入PECVD反应腔，完成化学气象材料叠层结构的覆膜，厚度增加了两个微米，即成为转化率可达10％的薄膜太阳能电池。代表第二代光伏技术的薄膜太阳能电池是在玻璃、金屬或塑料等基板上沉积很薄的光电材料形成的一种太阳能电池。它在弱光条件下仍可发电，既可应用于大规模光伏电站，也可制成柔性及半透明电池，实现真正的光伏建筑一体化应用。这种电池可大幅降低生产过程的能耗，具备显著降低原料和制造成本的潜力，近年来逐渐成为光伏产业的热点。
　　由该公司研制的PECVD，采用了先进的超高频射频技术、真空和温度控制技术，以及自主创新的自动传输技术。其中采用非晶微晶双结硅薄膜太阳能电池结构，首次实现独立多腔多片的反应腔系统，大大提高了产能。该系统能够同时处理3个反应腔中30片的玻璃覆膜过程，并且各腔又具有单腔独立运作的灵活性，可以分别沉积非晶微晶薄膜，属世界领先技术水平。产品性能可与国际一流设备媲美，售价仅为进口设备的一半。（记者王春）
　　
　　（科技日报）