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难熔金属及硅化物薄膜制备技术研究
难熔金属及硅化物薄膜制备技术研究
来源 :辽宁大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:qishi008
【摘 要】
:
本文对难熔金属及其硅化物的形成,特性进行了研究。
【作 者】
:
胡延年
徐伟
张绍成
【机 构】
:
辽宁大学电子科学与工程系,天津理工学院北辰院区自动化系
【出 处】
:
辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
磁控溅射
难熔金属
硅化物
薄膜
Megnetismcontroll splash
Unmeltingmetal
Silicide.
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本文对难熔金属及其硅化物的形成,特性进行了研究。
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