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<正> 1 概况 自从1972年John chapin发明了平面磁控管溅射技术以后,磁控溅射开始几乎都是为各种集成电路服务的,直到八十年代初才移植到金属膜电阻器的成膜上来,我国自八十年代末期相继从美国、日本引进了十余条磁控溅射镀膜机,我所成功地研制出了用在
BO型超低阻靶材的研制
【摘 要】
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<正> 1 概况 自从1972年John chapin发明了平面磁控管溅射技术以后,磁控溅射开始几乎都是为各种集成电路服务的,直到八十年代初才移植到金属膜电阻器的成膜上来,我国自八十年
【机 构】
：
江苏省冶金研究所,江苏省冶金研究所,南京市
【出 处】
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江苏冶金
【发表日期】
：
1996年4期
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