【摘 要】
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用接触式原子力显微镜来观察460℃低温下生长的In0.35Ga0.65As/GaAs外延层形貌。实验发现，这种460℃低温生长材料的失配外延层既不是层状的FvdM生长模式也不是岛状的SK自组织
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用接触式原子力显微镜来观察460℃低温下生长的In0.35Ga0.65As/GaAs外延层形貌。实验发现，这种460℃低温生长材料的失配外延层既不是层状的FvdM生长模式也不是岛状的SK自组织生长模式，而是由原子单层构成的梯田状大岛。原子力显微镜测试表明台阶的厚度由0．28nm，约为一个原子单层，这种介于层状和岛状生长之间的模式有助于了解失配异质外延的生长过程。
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