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3 相变材料GST的介电性质及其应用rnGST的介电性质主要体现在其对光的调控作用,在GST相变过程中伴随的折射率变化可以使其应用于光学存储.不仅是多媒体光盘,GST材料与波导材料结合还可以形成非易失性的光子存储单元.
相变材料Ge2Sb2Te5的性质及其面向新型数据存储的应用(续)
【摘 要】
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3 相变材料GST的介电性质及其应用rnGST的介电性质主要体现在其对光的调控作用,在GST相变过程中伴随的折射率变化可以使其应用于光学存储.不仅是多媒体光盘,GST材料与波导材
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心,北京 100083;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京 100049
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2020年6期
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