【摘 要】
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磁过滤真空弧装置示于图1,其核心部件为弧源、双90°磁过滤弯管、转动支撑架、真空系统和电源控制系统。这一90°弯管是该技术区别于传统真空电弧离子镀膜的显著标志,根据实
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磁过滤真空弧装置示于图1,其核心部件为弧源、双90°磁过滤弯管、转动支撑架、真空系统和电源控制系统。这一90°弯管是该技术区别于传统真空电弧离子镀膜的显著标志,根据实验需求,90°弯管可以选择安装一根或两根,弯管能过滤掉绝大部分弧源产生的不带电的碳液滴。用于HI-13串列加速器的约5μg/cm~2厚的DLC剥离膜制备方法如下:1)将甜菜碱脱膜剂均
Magnetic filtration vacuum arc device shown in Figure 1, the core components of the arc source, double 90 ° magnetic filter elbow, rotary support, vacuum system and power control system. This 90 ° elbow is a significant symbol of this technology from the traditional vacuum arc ion plating, according to the experimental requirements, 90 ° elbow can choose to install one or two, elbow can filter out most of the arc source produced Charged carbon droplets. A 5 g / cm ~ 2 thick DLC release film for a HI-13 tandem accelerator was prepared as follows: 1) A betaine release agent
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