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在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段,针对人工测量效率低,精度差等问题,设计了基于LabVIEW虚拟仪器的恒温区自动测量系统,阐述了系统的组成和测量原理。
基于VI的恒温区段测量系统设计
【摘 要】
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在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段,针对人工测量效率低,精度差等问题,设计了基于LabVIEW虚拟仪器的恒温区自动测量系统,阐述了系统的组成和测量原理。
【机 构】
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北京工业大学嵌入式系统实验室,石家庄铁道学院,石家庄铁道学院,石家庄铁道学院 050043 100022 石家庄铁道学院
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2006年13期
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