【摘 要】
：
硅晶片的清洗通常是在一个"过流(overflow)"清洗槽中进行,其中流过晶片的水流平均速度为1 cm/s,而在晶片表面的速度则为零.清洗效率受到污染物从硅片表面扩散出并进入到水流
【机 构】
：
FSIInternationalInc.
论文部分内容阅读
硅晶片的清洗通常是在一个"过流(overflow)"清洗槽中进行,其中流过晶片的水流平均速度为1 cm/s,而在晶片表面的速度则为零.清洗效率受到污染物从硅片表面扩散出并进入到水流速率的限制.报告了清洗效率的提高,通过对初次将污染物扩散进停滞层的1min循环进行重复,然后"倾倒"清洗槽,从而去除大部分污染的停滞层.通过旋转晶片,并利用离心力去除更大部分的停滞层,每个清洗循环可将清洗效率再提高10倍[1].与目前的浸泡式清洗技术相比,本方法可以完全去除可溶性污染物,而
其他文献
宫腔镜和腹腔镜联合手术，结合了两种手术的优势。使手术适应证更加广泛，对于合并多个部位病变的患者一次手术可解决多个问题，减轻了患者的痛苦及经济负担。同时，此手术具有切口小
中国商法的最新发展,集中到一点就是越来越多的人认识到进一步完善商法是市场经济的内在要求,从而促进了商法的理论和教学研究、人才培养,加快了商事立法和司法的步伐。商法
金穗飘香王云发滚滚金沙江，越过激流险滩，汇纳百川细流，穿蟑过峡，九曲回流，如一线玉带，滔滔东去。在她的臂弯里，偎依着一颗“攀西明珠”──会东县。几十年前，这个离凉山州府２４０公里的偏
台风Utor(0104)于2001年7月6日00时(UTC,下同)在广东汕尾地区登陆,带来比较严重的灾害性天气.以美国国家大气研究中心和宾州大学联合研制的第五代中尺度模式(MM5)为基础设计
采用溶胶-凝胶法制得了甲基丙烯酸丁酯（BMA）-丙烯酸铕（Eu（AA）3）聚物／TiO2-SiO2杂化膜，并用FT-IR、热重分析、荧光光谱及膜综合性能测试对杂化膜的性能进行表征。研究发现TiO2可以增强
从迎风紧致逼近出发，给出了一个求解三维可压Navier-Stokes方程的一种高精度的数值方法.利用Steger-warming的通量分裂技术将守恒型方程中的流通向量分裂成2部分，在此基础上据
网络性能监测是网络管理中的一项重要内容,针对校园网络应用的复杂性,提出了一种基于RRDtool的网络性能监测系统,先描述了该系统的目标和功能,然后给出了系统的实现模型,并在
甲状腺功能亢进症（以下简称甲亢）引起精神障碍的机理目前尚未明确，有研究表明FT3、FT4、TSH含量变化可能与精神症状尤其是情感障碍的出现及严重程度有关；甲状腺疾病与精神疾患可
国际半导体设备暨材料协会（SEMI）在年度”SEMICON Japan”展览会上发布了年末版《SEMI Capital Equipment Consensus Forecast》。预测显示，全球半导体设备行业的领先厂商预计20
为了迎接无铅时代的到来,不少半导体公司正趋向选用预镀镍-钯金(NiPdAu ppf)涂层的引线框架,以简化生产工艺.但是,这种方法需要仔细考虑NiPdAu涂层上金焊点的质量、其与修剪