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论述了反射高能电子衍射（RHEED）作为外延薄膜进行原位监测的一个重要手段以及RHEED图像与外延薄膜的表面形貌的关系，提出了以RHEED图像分析外延GaN基薄膜晶格结构的演变情况，并从衬底α-Al2O3，的等离子体清洗、氮化进行了具体的分析和演算。结论指出，RHEED不仅是进行外延薄膜原位监测，而且还可以作为分析外延薄膜晶体结构演变的一个有力手段。