【摘 要】
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化学气相沉积(CVD)技术是指反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面,进而制得固体材料的工艺技术.它可以在不改变基体材料的成份和不削弱基
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化学气相沉积(CVD)技术是指反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面,进而制得固体材料的工艺技术.它可以在不改变基体材料的成份和不削弱基体材料的强度的条件下,赋予材料表面特殊的性能,满足工程实际中对材料的要求.如CVD技术可以生长高质量的单晶薄膜,能够获得所需的掺杂类型和厚度,易于实现大批量生产,因而在工业上得到广泛的应用.本文主要对化学气相沉积技术的基本原理、特点及其主要应用做简要概述,并展望其应用前景.
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