Numerical studies on flow and thermal fields in MOCVD reactor

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系统的研究被执行了动态建模在低压力调查流动和垂直旋转托马斯天鹅 MOCVD 反应堆的热模式,用 2-D。由改变并且计算反应堆的几个重要过程参数,处于稳定的状态的速度和温度侧面的一致分布的优化条件被获得了。然后,时间依赖者与气体率能帮助在反应堆内识别视觉短暂行为并且分析延期时间,松驰摆动和脉动的摆动的机制的总数的步反应不安当模特儿。这些结果对进程参数优化和 MOCVD 反应堆的几何配置设计有益。
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